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超高真空擋板閥
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超高真空擋板閥 CD-J50

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CD系列真空擋板閥用于超高真空或要求烘烤的工況條件下,適用介質為空氣及非腐蝕性氣體。軸封為波紋管密封,法蘭密封為無氧銅金屬墊密封,適用于450oC高溫。有角通型(CD-J)和帶預抽口的三通型(CD-S),驅動方式有手動,電磁氣動,電動。

適用范圍

105~1.3×10-7Pa

閥門漏率

≤1.3×10-8Pa.L/S.

介質溫度

≤450oC

安裝狀態

任意

閥體、閥桿、閥蓋

不銹鋼

密封件

無氧銅、波紋管(軸封)


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